• 平成３年　　１月　　　資本金500万円をもって発足する。
• 平成３年　１０月　　　米国バリアン社の販売代理店となる。
• 平成４年　　７月　　　真空機器技術センター（つくば研究支援センター内：つくば市）を開設する。
• 平成５年　　１月　　　資本金を1，700万円に増資する。
• 平成６年　　４月　　　本社及び真空機器技術センターを統合してつくば市梅園に移転する。
• 平成６年　　４月　　　電子技術総合研究所より「超高真空化における有機化合物の処理」に

  ついて技術指導を受ける。（２年間）

• 平成７年　　２月　　　「光学薄膜の『製造方法とその処理』」について共同特許出願。
• 平成７年　　６月　　　「有機ナノパーティクル光薄膜素子の開発に関する研究」に関する官民

  連帯共同研究の実施（電総研，物工研，計量研）

• 平成９年　　７月　　　科学技術振興事業団より「超高真空を活用した高付加価値・高純度有機

  薄膜作製システム」の研究開発の為の援助金を受け開始。

• 平成１０年　３月　　　電子ビーム蒸着装置１号機を東京大学に納入する。
• 平成１１年　３月　　　スパッタ装置1号機を電子技術総合研究所に納入する。
• 平成１２年　６月　　　複合型電子ビーム蒸着装置1号機を筑波大学に納入する。
• 平成１２年１２月　　　特殊スパッタ源を大阪工業試験所に納入する。
• 平成１３年　４月　　　２インチスパッタ源を標準品とし製造販売を開始する。
• 平成１６年　４月　　　１．２インチ、１．５インチ、２インチ、及び３インチスパッタ源を標準品とし

  製造販売を開始する。

• 平成１８年　３月　　　超高真空排気装置の１，０００台納入を達成する。
• 平成２０年　３月　　　複合型スパッタ装置（スパッタ、Eガン、抵抗加熱）１号機を東北大学に

  納入する。

• 平成２３年　９月　　　本社を茨城県つくば市梅園2-24-4とし、資本金を2，000万円に増資する。

会社概要