• 平成３年１月　　資本金500万円をもって発足する。
• 平成３年１０月　米国バリアン社の販売代理店となる。
• 平成４年７月　　真空機器技術センター（つくば研究支援センター内：つくば市）を開設する。
• 平成５年１月　　資本金1，700万円に増資する。
• 平成６年４月　　本社及び真空機器技術センターを統合して現所在地に移転する。
• 平成６年４月　　電子技術総合研究所より「超高真空化における有機化合物の処理」について技術指導を受ける。（２年間）
• 平成７年２月　　「光学薄膜の『製造方法とその処理』」について共同特許出願。
• 平成７年６月　　「有機ナノパーティクル光薄膜素子の開発に関する研究」に関する官民連帯共同研究の実施（電総研，物工研，計量研）
• 平成９年７月　　科学技術振興事業団より「超高真空を活用した高付加価値・高純度有機薄膜作製システム」の研究開発の為の援助金を受け開始。

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