ｹｰｻｲｴﾝｽ取扱商品

超高真空排気装置

真空応用装置

真空部品

真空薄膜作製装置

スパッタリング装置

• 小型真空蒸着装置
• 真空蒸着装置
• 蒸着用機構部品
• 電子ビーム蒸着装置
• 原子／ラジカル・ビーム源
• レーザーアブレーション装置
• 有機化合物薄膜作製装置（共同特許/ケーサイエンス，電総研，科技団）

• スパッタリング装置
• マグネトロンスパッタリングソース
• 特殊マグネトロンスパッタリングソース

• 特注真空部品
• バリアン(Varian）社ターボ分子ポンプ
• バリアン(Varian）社イオンポンプ
• バリアン(Varian）社油拡散ポンプ（ディフュージョンポンプ）
• バリアン(Varian）社油回転ポンプ（ロータリーポンプ）
• バリアン(Varian）社スクロールポンプ
• バリアン(Varian）社真空ゲージ（ﾏﾙﾁｹﾞｰｼﾞ、UHV24ｹﾞｰｼﾞ、CCG他）
• バリアン(Varian）社その他真空部品

• ＣＶＤ装置
• アッシャー装置