真空薄膜作製装置
真空蒸着装置
１×１０-5Ｐａ以下
蒸着ボート×３
１．５ｋｗ
３ヶ，手動
１０×２６ｍｍ，３００℃，水冷，マスク切替
１００ｍｍ
バリアブルリークバルブ
ＳＵＳ３０４，バフ研磨電解研磨
ターボ分子ポンプ２５０Ｌ/Ｓ（Ｎ2）
ドライスクロールポンプ２５０Ｌ/Ｍ
ヌードイオンゲージ（１０-1〜１０-9Ｐａ）
サーモカップルゲージ（大気〜１０-1Ｐａ）
膜厚計，ベルジャー昇降用電動リフト
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作製室到達真空度
蒸着源
蒸着電源
シャッター
基板ホルダー
基板上下移動
ガス導入
作製室
作製室排気系
真空計
その他
１×１０-5Ｐａ以下
蒸着ボート×３
１ｋｗ
１ヶ，手動
φ２”，上下±１００ｍｍ
ＳＵＳ３０４，バフ研磨電解研磨
ターボ分子ポンプ６８Ｌ/Ｓ（Ｎ2）
ロータリーポンプ９０Ｌ/Ｍ
ヌードイオンゲージ（１０-1〜１０-9Ｐａ）
コンベクトールゲージ（大気〜１０-1Ｐａ）
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作製室到達真空度
蒸着源
蒸着電源
シャッター
基板ホルダー
作製室
作製室排気系
真空計
各種の内部機構及び部品の設計/製作します。
ロードロックチャンバー
基板直線・回転機構
基板直線・回転機構コントローラ
基板回転・チルト機構
固定式基板ホルダー
基板ヒーター
ポンプ停電保護機構
作製室到達真空度
電子銃
蒸着電源
基板ホルダー
作製室
作製室排気系
真空計
その他
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１×１０-5Ｐａ以下
２ｋｗ３連Ｅ型電子銃
２ｋｗ
φ４”，８００℃，冷水
ＳＵＳ３０４，ハブ研磨電解研磨
ターボ分子ポンプ２５０Ｌ/Ｓ（Ｎ2）
ロータリーポンプ２５０Ｌ/Ｍ
ヌードイオンゲージ（１０-1〜１０-9Ｐａ）
サーモカップルゲージ（大気〜１０-1Ｐａ）
膜厚計，ベルジャー昇降用電動リフト
KS-503X型 有機化合物薄膜作製装置
５×１０-6Ｐａ
有機化合物溶液噴射
４”，ランプ加熱
ＸＹ軸±２”，ステッピングモーター駆動
ＳＵＳ３０４，バフ研磨電解研磨
大型ＬＮ2クライオバッフル
ドライスクロールポンプ４９１Ｌ/Ｍ
ターボ分子ポンプ４７０Ｌ/Ｓ（Ｎ2）
ロータリーポンプ３７５Ｌ/Ｍ
ヌードイオンゲージ（１０-1〜１０-9Ｐ）
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作製室到達真空度
蒸着源
基板ホルダー
基板移動
作製室
作製室排気系
真空度
５×１０-6Ｐａ
各種レーザー光を使用
１ヶ，ステッピングモーター駆動
１軸回転３６０°高精度ステッピングモーター，８００℃
ＳＵＳ３０４，バフ研磨電解研磨
ターボ分子ポンプ２５０Ｌ/Ｓ（Ｎ2）
ロータリーポンプ２５０Ｌ/Ｍ
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薄膜作製室到達真空度
蒸着源
シャッター
基板ホルダー
薄膜作製室
薄膜作製室排気系
チャンバーの内側（短ライフタイム対応型）
１３．５６ＭＨｚ
最大５００Ｗ
石英
２０ｍｍ
石英
ＩＣＦ１１４
０．３ｍｍ×９個
ホトダイオード出力
ミニコン
水冷
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放電コイル位置
ＲＦ周波数
ＲＦ出力
放電管材質
放電管直径
真空シール
取付フランジ
オリフィス寸法
ビームモニター
ガス導入
放電コイル冷却
納入実績
真空蒸着装置
複合型薄膜作製装置
（電子ビーム/抵抗加熱，スパッタ/抵抗加熱）
- 広島大
- 原研（東海）
- 電総研
- 計量研
- 無機材研
- 金材研
- 融合研
- 理研
- 分子研
- 大工試
- オングストロームテクノロジー
- 産総研
理学部、工学部、
低温センター、
物性研、駒場
その他多数
理学部、通研、
工学部
理学部、工学部
化研
